Z 軸ステージの特徴
・ 従来のモーターではできなかった低周波動作も、ピエゾを用いて制御するから
対応可能。また、ヒンジ機構を採用するのでバックフラッシュもありません。
・ さらに数ｍｍのストロークも実現可能です。
こちらは実験動画です
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[https://streamable.com/aq94y:movie] 1 Hz サイン波形_1
[https://streamable.com/lpce1:movie] 0.1Hz サイン波形_1
